半導体(はんどうたい)とは、電気を通す
導体や電気を通さない
絶縁体に対して、それらの中間的な性質を示す物質である。英語semiconductor("semi-" 半分、やや、"conductor" 導体)からの
翻訳。
周囲の電場や温度によって電気をどの程度通すか(
電気伝導性)を敏感に変化させるその性質は工業上極めて重要である。今日の
電子工学の基礎をなす
半導体素子、あるいはその集積体である
ICといったものは半導体の性質を利用して作られている。
(
禁制帯幅)の模式図。半導体では空いている
伝導帯の電子(
伝導電子)を外部からの刺激で増やすことで、物性を動的に変化させられる。金属ではエネルギーバンド内に空き準位があり、
価電子がすぐ上の空き準位に移って
伝導電子となるため、常に
電気伝導性を示す。]]
半導体は産業の
コメだと言われるほど非常に重要な分野である。
物性
バンド構造
の模式図。Eは電子の持つ
エネルギー、kは
波数。Egが
バンドギャップ。半導体(や絶縁体)では「絶対零度で電子が入っている一番上のエネルギーバンド」が電子で満たされており(
充満帯)、その上に
禁制帯を隔てて空帯がある(
伝導帯)。]]
半導体の性質で特徴的なのが、
熱や
光、
磁場・
電圧・
電流などの刺激でその物性が動的に変わることである。この特徴により、半導体の応用範囲は非常に多様なものとなっている。この特徴は適切な幅の
禁制帯を持つ
バンド構造に由来し、
電子が
伝導電子になったり
価電子になったりすることで、電気的・光学的・熱的などの面で性質が変化する。
より厳密には、半導体とは、
価電子帯の部分の
状態密度が完全に
電子で詰まった
充満帯となっており、一方
伝導帯は空(空帯)で、価電子帯と伝導帯の間に
バンドギャップが存在する状態、またはその状態を示す
物質である。同じようにバンドギャップが存在する
絶縁体に比べて、半導体はバンドギャップがより狭いことでよく区別されるが、この区別は必ずしも妥当ではない。例えば、通常
ダイヤモンド(バンドギャップは実験値で室温で約5.47
eV)は絶縁体として扱われることがある。この違いはむしろ、
不純物によって
伝導度を制御できるかどうかによって区別されるべきであり、したがって
ダイヤモンドや
窒化アルミニウムなどは半導体であり、現在ワイドバンドギャップ半導体と総称される。通常半導体として扱われる物質のバンドギャップは、
シリコンで約1.1 eV、
ゲルマニウムで約0.67 eV、
ヒ化ガリウム化合物半導体で約1.4 eV。
発光ダイオードなどではもっと広いもの(
ワイドギャップ半導体)も使われ、リン化ガリウムでは約2.3 eV、
窒化ガリウムでは約3.4 eVである。現在では、ダイヤモンドで5.27 eV、窒化アルミニウムで5.9 eVの発光ダイオードが報告されている。
キャリア
半導体中における
伝導電子や
正孔を、まとめて
キャリア((charge) carrier、キャリヤ、キャリヤー、担体)と呼ぶ。半導体中における、
電荷の移動(
電流)の担い手である。
- 半導体において単に「電子」と言った場合は、通常伝導電子のみを指す(「電子が欠乏」「電子が無い」などと言っても、半導体を構成する原子の中の電子が全て無くなったりしている訳ではなく、単に伝導電子が不足する様を表す)。
-
多数キャリア(majority carrier)とは、n型半導体中の電子(伝導電子)、およびp型半導体中の正孔を指す。単に「キャリア」と言った場合は、通常は多数キャリアを指す。
-
少数キャリア(minority carrier)とは、n型半導体中の正孔、およびp型半導体中の電子を指す。
なお厳密には、p型/n型どちらの型の半導体も、必ず
伝導電子と
正孔の両方をもっており、内部では常に熱エネルギーなどによる生成と消滅が繰り返されている。p型/n型とは、そのバランスがどちらか一方に(多くの場合は数桁以上の比で)偏っている様を表す。
n型・p型
)をドープした例。5つの赤い丸がリン由来の
価電子。一つだけ余った「e
-」と書かれている電子が、電荷の運び手(キャリア)となり、結晶中を
自由に動き回る。]]
電子(
伝導電子または
自由電子、正確には
ほとんど自由な電子)が過剰な
半導体。価数の多い元素をドーピングするなどの手法で作製される。例えば
シリコンや
ゲルマニウム(4価の元素)の結晶に、
ヒ素などの5価の原子を混ぜることでn型となる。原子の結合に用いられず余った
自由電子が負の電荷のキャリアとなる。不純物の導入によって生成されたキャリアは、導入された不純物原子から受けるクーロン引力により束縛される。ただし、その束縛は弱く(ゲルマニウムのn型半導体では、電子束縛エネルギー = -0.01 eV、
ボーア半径 = 4.2 nm、なお、結晶の
原子間距離 = 0.25 nm)、室温では熱励起(約0.025 eV)により束縛を離れ、結晶中を自由に動き回るようになる。
バンド構造で言えば通常、ドーパント原子は
禁制帯の上端付近に
ドナー準位を形成し、そこから熱エネルギーにて
伝導帯へ励起される。
フェルミ準位は
禁制帯中の
ドナー準位に近い位置になる。
)をドープした例。]]
不純物や
格子欠陥を全く含まない半導体では、全温度領域においてキャリアの供給が価電子の励起のみによる。これを
真性半導体と呼ぶ。
フェルミ準位は禁制帯の中央に位置する。後述の
温度の影響も参照。
キャリアの補償
ドナーと
アクセプタの両方が存在する場合、ドナー準位からアクセプタ準位に電子が遷移する。このためドナー密度がアクセプタ密度よりも大きい時は全体としてn型となり、逆の場合はp型となる。これを
キャリアの補償(carrier compensation)と言う。
温度の影響
半導体では通常、温度が上がると電気伝導性が増す。
室温においては前述のとおり、ほとんどの
キャリアが不純物原子から受ける束縛を離れて結晶中を自由に動き回っている(言い方を変えると、導入された不純物原子(
ドナーあるいは
アクセプタ)はほとんどが
イオン化している)が、温度が低下していくとともに熱励起も弱くなり、不純物原子のクーロン引力による束縛を受けるようになる。前者の、ほとんどのキャリアが束縛を離れている温度の領域を
飽和領域(あるいは
出払い領域)といい、後者の、キャリアが束縛を受ける温度領域を
不純物領域という。なお、温度を上昇させると、価電子までもが熱励起され、キャリアの供給源となるようになる。この温度領域を
真性領域と呼ぶ。通常半導体素子として利用する場合、半導体の飽和領域における振舞が利用される。
逆バイアスされた
PN接合などにおいて温度が上がりすぎると、キャリアの増加で電流が増加し、その抵抗発熱でさらに温度が上がる
熱暴走が発生する。
<!--中身がないのも気持ち悪いのでとりあえずコメントアウト
製作工程
材料
半導体の材料としては、下記のようなものがある。
応用例
脚注
関連項目
*
はんとうたい
はんとうたい